Giới thiệu chung

Semitron® MPR 1000 có khả năng chịu nhiệt tuyệt vời và tỷ lệ thoát khí và ăn mòn thấp trong buồng plasma. Vật liệu có độ tinh khiết cao với hàm lượng ion thấp này thường được chọn cho các ứng dụng buồng chân không trong các phân đoạn phụ khắc axit, CVD và cấy ion trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử.

Semitron® MPR 1000 cho thấy tuổi thọ tăng lên so với các vật liệu truyền thống, ví dụ như lên tới 25 lần so với polyimide trong ozone trong một số trường hợp. Do tuổi thọ của nó, nó được chỉ định để chống lại các vật liệu truyền thống được sử dụng trong các ứng dụng buồng chân không như thạch anh, gốm sứ, polyimide và các loại nhựa kỹ thuật khác.

Tổng quan về sản phẩm

Những tính chất nổi bật của Semitron® MPR-1000:
– Hàm lượng ion thấp và thoát khí thấp
– Khả năng chịu nhiệt tuyệt vời
– Giảm thiểu tốc độ xói mòn trong buồng plasma
– Khả năng chống chip tối ưu
– Độ bền và khả năng gia công
– Được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng buồng đòi hỏi khắt khe

Ứng dụng

Semitron® MPR 1000 được ứng dụng trong lĩnh vực buồng chân không (vacuum chamber applications) với nhiều tính năng nổi bật hơn so với thạch anh, gốm sứ, polyimide và các loại nhựa kỹ thuật khác.

Thông tin chi tiết

https://www.mcam.com/en/products/shapes/advanced/semitron/semitron-mpr-1000